在新一代单反机种中，感光器件除尘技术获得广泛的采用。这一技术在实际应用中也具有相当高的价值，原因在于数码单反的CCD/CMOS感光器件直接裸露，用户在安装或取下镜头时难免让感光器件沾染灰尘或污渍，在拍摄时就会在照片中留下明显的斑点，因此必须定期对感光器件进行清洁。不过，CMOS和CCD感光器件都十分脆弱，常规的清洁方式很容易造成永久性损坏—一旦感光器件出问题，整部相机也宣告报废。过去许多单反厂商的客服部门都提供清洁服务，不过价格不菲，清洁一次轻松花掉百元，而且往往需要较长的时间，这样的代价不是普通用户所可以承受的。

早在2004年，奥林巴斯首开感光器件除尘技术的先河，奥林巴斯在专业级的E-1数码单反和普及型单反E-300中都搭载了专利技术：“超声波除尘系统(SSWF)”， 该系统的主要部件是“超声波滤镜”，它被安装在快门的后面，CCD感光器件和低通滤波器的前面；每次开机，超声波滤镜都会以每秒35000次的超高速度振动，将进入相机的灰尘和碎屑震落，而震落的灰尘被收集在一个特殊的收集器里——这个过程仅仅需要200毫秒时间就可以完成，每次开机时都会自动运行，从而使得感光器件始终都处于一尘不染的状态，充分保证拍摄效果不会遭受灰尘和污渍的影响。

佳能的EOS综合除尘系统通过多种 方式解决感光器件灰尘沾染的问题

超声波除尘技术一出台就受到业界的瞩目，不过佳能、尼康等厂商并没有快速跟进—佳能直到2006年9月份推出的EOS 400D机型才开始引入除尘技术，佳能将自己的除尘技术命名为“EOS综合除尘系统（EOS Integrated Cleaning System）”，它其实是一套包括抑制灰尘产生、积淀和灰尘去除的综合方案，它的特点是机身内部（如快门单元和机身盖等）采用了抑制尘屑产生的机构和材料，同时进行了抗静电处理，可以大大减少尘屑的吸附和积淀。而对于灰尘的去除，EOS综合除尘系统则提供了感应器自清洁单元（Self Cleaning Sensor Unit）、除尘功能（Dust Delete Function）和手动清洁感应器三种方案。感应器自清洁单元指的是佳能采用了特殊结构的CMOS感光器件，这种感光器件的最外层滤镜安装压电元件，它可以产生超声波带动滤镜加速振动，从而震落附着在上面的灰尘；而除尘功能则是一种软件弥补方案—如果CMOS沾上感应器清洁单元无法清楚的顽固灰尘，除尘功能会对它的位置和大小进行检测，然后将检测数据添加到照片数据中，用户配合佳能Digital Photo Professional随机软件的除尘功能，就可以通过软件的方式减小灰尘对画质的影响。

尼康的入门单反一直都不具备除尘功能，不过新近推出的D60终结了此项历史。D60采用气流防尘和感光器件除尘双重措施，前者可将反光镜盒中的空气导向底座附近的小管中，令灰尘远离影像感应器；而后者则是利用专门设计的振动来降低感应器附近的积尘——与奥林巴斯首创的超声波除尘技术不同，尼康D60的抖动除尘并非开机时就自动清洁，而是定期自动激活或由拍摄人员手动激活，另外它只是通过感光器件抖动来除尘，实际效果如何还未经实践的检验。

索尼在2006年推出的a100单反中也带来了除尘系统，现行的α200、α300和α350等入门新品都延续了这一体系。索尼的防尘方案与尼康类似，都是拥有防尘和除尘两个手段，不过具体实现完全不同。防尘方面，索尼首先在CCD前增加了一层低通滤镜，又在低通滤镜前面添加了一块非常坚硬的铟锡氧化物，最后在铟锡氧化物表面还有抗静电涂层，如此严密的保护使得灰尘沾染CCD的几率大幅度降低。其次，索尼利用原先柯美机身防抖技术中CCD可移动的特点，开发出CCD高频振动的除尘技术——每当开关机或处于除尘模式下，我们就可以感觉到机身内在进行除尘工作。